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SVAC-FilmLab-T 臺式鍍膜設備
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SVAC-FilmLab-T 臺式鍍膜設備

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真空系統配置：分子泵、機械泵、插板閥。
最大樣品尺寸：6英寸。
外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成熱蒸發、磁控濺射等沉積模塊。
開門方式：前開門或上開門。
支持獨立控制柜。
真空腔室尺寸：Φ350-450MM。
極限真空：小于5×10-5Pa。
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