SVAC-FilmLab-B 箱式鍍膜設備

極限真空：小于5×10-5Pa。

保壓數據V2

真空度數據：

性能模塊：

1、磁控濺射模塊：

2、電子束：

電子束蒸發均勻性

注：在4寸/6寸范圍內取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

蒸發曲線

3、加熱樣品臺：

4、熱蒸發

熱蒸發模塊性能測試曲線

注1：Al采用AlN坩堝外纏繞鎢絲蒸發。

注2：Ni、Ti采用鉬棒纏繞Ni、Ti絲蒸發

注：在4寸/6寸范圍內取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

5、有機物蒸發：

有機物束源爐性能測試曲線

測試條件：Red Prime材料，密度1.0g/cm3