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掃描電子顯微鏡 SEM3100
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掃描電子顯微鏡 SEM3100

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掃描電子顯微鏡SEM3100

SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴(kuò)展性,將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到極致。分辨率可達(dá)3 nm,超大樣品倉,可容納最大直徑為370 mm的樣品,以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計和特色功能,助您在顯微成像的世界中盡情探索。


高性能高指標(biāo)

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡,擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào),在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深,成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式,極大地擴(kuò)展了SEM3100的應(yīng)用范圍。

分辨率3 nm @ 30kV, SE

放大倍率1 x~300,000 x

圖像保存最大像素,6144 x 4096

加速電壓1 kV ~ 30 kV

最大樣品尺寸直徑370 mm,高73 mm


出色的成像效果

低電壓

大視場、大景深、超大樣品倉

聚丙乙烯微球
濾紙
泡沫鎳基底
微流控芯片
三元正極
電極箔截面



豐富的擴(kuò)展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察,還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉,接口豐富,除支持常規(guī)的二次電子探測器(ETD)、背散射電子探測器(BSED)、能譜儀(EDS)外,也預(yù)留了諸多接口,諸如電子背散射衍射(EBSD)、波譜儀(WDS)、陰極熒光(CL)等探測器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。

背散射探測器

二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下,樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱,并且具有很好的成分襯度,適合進(jìn)行成分觀察。

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果,加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層


特色功能,更高的效率和更好的性能

光學(xué)導(dǎo)航

SEM3100標(biāo)配的倉內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺照片,助您快速定位樣品

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢

可通過旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù),極大地提高成像效率。

動態(tài)像散

直觀反映像散程度,通過鼠標(biāo)點擊即可快速調(diào)節(jié)像散至最佳。

快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)

拖動一條線,圖像立刻“擺正角度”。


細(xì)節(jié)設(shè)計,追求最佳的易用性

人性化的軟件設(shè)計

所有控制功能集成在一個軟件界面上,純中文的操作界面,功能設(shè)計簡單易懂。無論是否有經(jīng)驗的用戶,簡單的了解后都可以快速上手。

30分鐘自動休眠

30分鐘無操作,SEM3100會自動進(jìn)入休眠模式,停止掃描并將電子束關(guān)閉,減少燈絲損耗,延長使用壽命。

換樣方便

拉開式倉門,給換樣操作留出寬闊的空間。也為倉內(nèi)清潔維護(hù)提供了方便

面板功能按鈕

機(jī)身正面設(shè)計的啟動和放氣按鈕組合可快速換樣,拍樣完成后按下待機(jī)按鈕可一鍵待機(jī)!

優(yōu)中心樣品臺和真空機(jī)

支持優(yōu)中心傾斜①樣品始終處于電子束下方,不同傾斜角度下,可獲取更豐富的形貌和成分信息。同時倉內(nèi)真空電機(jī)②簡化了傳動結(jié)構(gòu),減少了真空漏氣可能性。

燈絲狀態(tài)自動監(jiān)測

自動檢測燈絲使用時間,以及燈絲工作狀態(tài)。讓您測樣和實驗安排“心中有數(shù)”。

防碰撞技術(shù)

采取多維度的防碰撞方案:1. 手動輸入樣品高度,精準(zhǔn)控制樣品與物鏡下端距離,防止發(fā)生碰撞;2. 基于圖像識別和動態(tài)捕捉技術(shù),運動過程中對倉內(nèi)的實時畫面進(jìn)行監(jiān)測;3. 樣品臺硬件防碰撞,可在碰撞一瞬間停止電機(jī),減少碰撞損傷。

三級減震

創(chuàng)新性的三級減震設(shè)計,可較好的過濾來自地面?zhèn)鱽淼牡皖l震動。同時,通過良好的工程設(shè)計,大幅減少了SEM3100自身運行產(chǎn)生的震動。


參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1 x~300,000 x
加速電壓
1 kV~30 kV
電子槍類型
預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測器(標(biāo)配)
二次電子探測器 (ETD)
探測器(選配)
背散射電子探測器、能譜儀EDS等
圖像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式
全自動閥
渦輪分子泵
240 L/S
機(jī)械泵
12 m3/h(50 Hz)
攝像頭
光學(xué)導(dǎo)航
樣品倉內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度
高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺配置
三軸自動(標(biāo)配)
五軸自動(選配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: -180°~ +180°
/
T: -10°~ +75°
最大樣品尺寸
直徑:370 mm, 高:68 mm
直徑:370 mm, 高:73 mm
軟件
語言
中文
操作系統(tǒng)
Windows
導(dǎo)航
光學(xué)導(dǎo)航,手勢快捷導(dǎo)航
自動功能
自動亮度對比度,自動聚焦
特色功能
動態(tài)像散
安裝要求
房間
長 ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
門寬
寬 ≥ 900 mm,高 ≥ 2000 mm
溫度
20 ~ 25 ℃
濕度
≤ 50%
噪聲
≤ 45dB
電氣參數(shù)
電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA
地線
獨立地線一條,小于4 Ω
交流磁場
< 100 nT


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